Beidseitig antastendes Interferometer zur Längenmessung von prismatischen Körpern ohne Anschub

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

katharina.rau@ptb.de

Abstract

Längenmessungen und Kalibrierungen von prismatischen Körpern werden vorwiegend mit Twyman-Green Interferometern oder Kösters-Komparatoren durchgeführt, die eine an die Probe angeschobene Endplatte als Referenzfläche für die nicht sichtbare Probenendfläche erfordern. Die Wechselwirkung der Probe mit der Anschubplatte stellt jedoch einen der begrenzenden Faktoren der Messunsicherheit dar. In diesem Vortrag wird ein alternatives Interferometerdesign vorgestellt, dass sich derzeit in der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt im Aufbau befindet. Das beidseitig optisch antastende Interferometer ermöglicht durch zwei Referenzarme das gleichzeitige Antasten beider Probenendflächen und macht einen Anschub somit überflüssig. Nach erfolgreicher Testphase mit einem Prototypen in Luft, wurde das aktuelle Interferometer in einen temperierbaren Vakuumkessel integriert, der für stabilere Messbedingungen sorgen soll. Durch Korrekturen für Optikfehler und Phasensprung soll die Messunsicherheit weiter verringert werden.

Keywords

Messtechnik Interferometrie
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@inproceedings{dgao114-p18, title = {Beidseitig antastendes Interferometer zur Längenmessung von prismatischen Körpern ohne Anschub}, author = {K. Rau, R. Schödel}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 114. Jahrestagung}, year = {2013}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Poster P18} }
114. Jahrestagung der DGaO · Braunschweig · 2013