Internationaler Vergleich zur Topographiemessung an einer Planfläche

Die Messung und Kalibrierung der Topografie nahezu planer Oberflächen hat eine große Bedeutung für optische Systeme und Referenzflächen. Deshalb bieten viele nationale Metrologieinstitute entsprechende Kalibrierungen an. Vorzugsweise werden dazu optische Messtechniken wie die Interferometrie oder Kleinwinkel-Deflektometrie verwendet, die Unsicherheiten von wenigen Nanometern erreichen. Zur Sicherstellung einer möglichst guten Genauigkeit gehören auch Messvergleiche zwischen den Instituten. Im Rahmen von EURAMET, der Europäischen Vereinigung der nationalen Metrologieinstitute, wurde ein Vergleich verschiedener Ebenheitsmessgeräte von 12 beteiligten Instituten durchgeführt. Pilotlabor war die PTB. Als Prüfling diente eine Zerodurplatte, die mit 100 mm oder 150 mm effektiver Apertur benutzt werden konnte, und die mit verschiedenen Masken versehen werden konnte, um die Ausrichtung und Apparatureffekte, wie z.B. Verzeichnung bei abbildenden Systemen, zu identifizieren. Ergebnisse und Schlüsse aus dem Vergleich der Messungen werden vorgestellt und es wird auf die Besonderheiten verschiedener Messverfahren näher eingegangen.