Scannend abbildendes Mikrosystem auf Basis durchstimmbarer Elemente aus Aluminiumnitrid Membranen

Der Einsatz von Mikrooptik ermöglicht eine Miniaturisierung optischer Systeme sowie den Einsatz von Aktuierungskonzepten für durchstimmbare Elemente, die sich nicht mit klassischen Systemen realisieren lassen. Wir nutzen als abbildende Optik eine durchstimmbare Membran-Linse in Kombination mit der scannenden Funktionalität eines durchstimmbaren Mikroprismas. Die Optimierung der Abbildungsleistung in einem begrenzten Bildbereich und dessen Erweiterung auf ein größeres Bildfeld durch Scannen führt zu einem leistungsfähigen Gesamtsystem. Wir präsentieren ein Optikdesign, welches auf die Performance der aus Aluminiumnitridmembranen hergestellten Elemente angepasst ist. Hierfür erfolgt auf Grundlage der technologischen Randbedingungen eine Abschätzung der optischen Leistungsfähigkeit aller Einzelkomponente sowie deren Integration zu einem Gesamtsystem, welches hinsichtlich Abbildungsqualität und maximalem Durchstimmbereich optimiert ist.