Absolute Längenmessung in einem polarisationsoptischen Weißlichtinterferometer

Im Gegensatz zu relativ messenden interferenzoptischen Messverfahren (z.B. Planspiegelinterferometer), bietet die Weißlichtinterferometrie den Vorteil, absolute Strecken in einem optischen System messen zu können. Die zu messenden Strecken werden durch sich gegenüberstehende Spiegelelemente realisiert, welche sich innerhalb eines sogenannten Tandeminterferometers befinden. Dieses wird aus zwei sequentiell angeordneten Michelson-Interferometern aufgebaut. Während zunächst ein Gangunterschied zwischen zwei Wellenfronten eines aufgeteilten Lichtstrahls erzeugt wird, so kompensiert ein zweites Interferometersegment diesen Gangunterschied wieder. Das Resultat ist die Erzeugung einer Signatur, die sich ortsgebunden digital erfassen und auswerten lässt. Auf diese Weise können Ortsmarken für die absolute Längenmessung definiert werden. Um die Intensitätsverluste im Interferometer zu minimieren, wurde am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der Aufbau eines Tandeminterferometers mit breitbandig-polarisationsoptischen Bauelementen realisiert und untersucht. Die gesteigerte optische Effizienz im Interferometeraufbau erleichtert die Auswahl einer geeigneten Weißlichtquelle.