Interferometrische Vermessung von großformatigen Zylinderflächen

Die Vermessung der Formgüte von großformatigen Zylinderlinsen mit Längen über 1 m stellt eine besondere Herausforderung dar. Sowohl durch die Begrenzung der messbaren Aperturgrößen als auch der anwendungsbedingten lokalen Nutzungsbereiche sind zunächst die Anforderungen an die Oberflächenform in besonderer Weise zu spezifizieren. Hierzu sind die bisherigen in der Norm für sphärische und asphärische Optiken festgelegten Zeichnungsangaben und die zugehörigen interferometrischen Messgrößen auf Zylinderflächen zu erweitern. Die Messung mittels Plan-Interferometern wird durch den Einsatz von entsprechenden Hologrammen (CGHs) als Null-Elemente ermöglicht. Um eine globale Flächencharakterisierung zu ermöglichen, wird mit Hilfe komplexer Stitching-Verfahren eine Höhenkarte der Gesamtfläche erzeugt. Die Anforderungen, die Messprozesse und die Verarbeitung der Sub-Aperturdaten werden beispielhaft aufgezeigt.