Multilateration zur Steigerung der Messgenauigkeit bei Stitchingverfahren

Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)

Martin.Sommerfeld@PTB.de

Abstract

Bei diversen Stitchingverfahren ist eine möglichst genaue Kenntnis der Position des messenden Interferometers relativ zum Prüfling notwendig. Dies kann mit Hilfe der Multilateration erreicht werden, wobei aus gemessenen Abständen eine unbekannte Position berechnet wird. Ein bekanntes Beispiel ist das „Global Positioning System“ (GPS). In diesem Beitrag wird ein System vorgestellt, welches aus einem nachgeführten, absolut messenden Längeninterferometer (Lasertracer), einigen Spiegeln und Retroreflektoren besteht. Verbindet man die Retroreflektoren starr mit dem Prüfkörper, so kann durch Multilateration die Position und Lage des Prüfkörpers relativ zum ortsfesten Lasertracer sehr genau bestimmt werden. Die bei der Auswertung von GPS-Daten genutzten Algorithmen können hier aber nicht eins zu eins übernommen werden, weil es gewisse Unterschiede im Messverfahren gibt. In diesem Beitrag wird das Verfahren vorgestellt und gezeigt, wie die Messanordnung optimiert werden kann, um möglichst kleine Messunsicherheiten zu erreichen.

Keywords

Interferometrie Oberflächen 3D-Messtechnik
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@inproceedings{dgao115-a19, title = {Multilateration zur Steigerung der Messgenauigkeit bei Stitchingverfahren}, author = {M. Sommerfeld, M. Stavridis}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 115. Jahrestagung}, year = {2014}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Vortrag A19} }
115. Jahrestagung der DGaO · Karlsruhe · 2014