Stitching streifenförmiger Subaperturen zur Formmessung

Vorhandene Messsysteme zur Formmessung glatter Oberflächen basieren in der Regel auf punktmessenden oder flächenhaftmessenden Sensoren. Im Rahmen eines gemeinsamen DFG-Projekts zwischen dem Lehrstuhl für Messtechnik der Universität Kassel und der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt wird ein schnell scannendes linienförmiges Formmesssystem mit einer Messfrequenz von 100 Hz aufgebaut. Streifenförmige Subaperturen haben im Vergleich zu den Punktsensoren den Vorteil, dass durch den Überlappbereich der einzelnen Linien bei geeignetem Stitching die Fehler der Führung teilweise eliminiert werden können. Vorteilhaft gegenüber einer flächenhaften Aufnahme ist die geringere Datenmenge sowie die schnellere Datenaufnahme. Es wird ein neuartiger schnell messender optischer Liniensensor in Kombination mit einem 5-Achsen-Bewegungssystem vorgestellt und die Vor- und Nachteile verschiedener Sensorkonzepte an Hand von Modellierungen und Messungen näher untersucht. Es werden Ergebnisse des Stitchings von linienförmigen Subaperturen zu einer Gesamttopografie gezeigt und diskutiert. Das vorgestellte System hat das Potenzial, die Form von Asphären mit Genauigkeiten im sub-µm zu messen.