Variables Interferometer-Objektiv für die Messung von Asphären und Freiformflächen

Es werden die ersten experimentellen Ergebnisse eines kompakten und streureflexarmen Zoom-Linsensystems für die Vermessung von Asphären und Freiformflächen vorgestellt. Das System bietet die Möglichkeit, die Prüfwellenfront für ein Nulltestverfahren an die Oberfläche des Prüflings zu adaptieren. Um höchste Messgenauigkeiten zu erreichen, ist das System für minimales Streulicht berechnet. Grundlage des Zoom-Systems sind zwei diffraktive optische Glaselemente mit kubischer Phasenfunktion, die die Prüfwellenfront variabel fokussieren. Abhängig vom lateralen Versatz der DOEs ändert sich linear die Gesamtbrennweite des Objektivs. Einen zusätzlichen Freiheitsgrad erhält man durch die dazu orthogonale Verschiebungsrichtung. Hierdurch kann der Astigmatismus beeinflusst und somit die Prüfwellenfront besser an die Prüflingsoberfläche angepasst werden.