Entwicklung von Kalibriernormalen für die Charakterisierung von Messsystemen für asphärische optische Oberflächen

Um die Genauigkeit optischer und taktiler Verfahren zur Formmessung von Asphären zu untersuchen, sind bekannte Referenzflächen notwendig. Idealerweise wurden diese zuvor mit absoluter Messtechnik bestimmt, deren Messunsicherheit kleiner ist als die der zu kalibrierenden Messsysteme. Derartige Normale sind mit hoher Genauigkeit derzeit nicht verfügbar. Daher entwickelt die PTB zusammen mit anderen Partnern im Rahmen des European Metrology Research Programme (EMRP) [1] hochgenau kalibrierte Normale für die Asphärenmesstechnik. In diesem Beitrag werden die Anforderungen an solche Kalibriernormale diskutiert. Daraus abgeleitete Oberflächeneigenschaften, die insbesondere zur Charakterisierung von Messsystemen relevant sind, werden vorgestellt. Dabei handelt es sich um spezielle metrologische Referenzflächen, die Aufschluss über die laterale und vertikale Auflösung, den Scheitelradius und Justageeffekte geben sollen. Zusätzlich wird die Verwendung von Markern untersucht, um durch genauere Kenntnis der Messorte die Ergebnisse unterschiedlicher Messsysteme besser vergleichen zu können. [1] EMRP IND10: http://www.ptb.de/emrp/ind10-home.html