Tilted Wave Interferometer - Entwicklung und Messergebnisse

Optische Systeme sind im industriellen und privaten Umfeld nicht mehr wegzudenken. Die an sie gestellten Anforderungen steigen kontinuierlich. Sie sollen kompakter, leistungsfähiger und gleichzeitig günstiger werden. In ihnen kommen deshalb im zunehmenden Maße Asphären und teilweise bereits auch Freiformen zum Einsatz. Die Messung der Formabweichung von Asphären und Freiformen ist wesentlich, um die Funktion und Qualität der optischen Systeme sicherzustellen. Taktile Messsysteme sind für die Messaufgabe nicht ausreichend und bisherige Interferometer nur durch Stitching oder mit teuren und unflexiblen Zusatzelementen nutzbar. Mit der am Institut für Technische Optik (ITO) der Universität Stuttgart entwickelten Tilted Wave Interferometrie können die bisherigen Limitierungen umgangen werden. Ausgehend von diesem Messprinzip hat Mahr ein erstes Interferometer mit gekippter Objektwellenfront im Rahmen des BMBF Förderprojekts MesoFrei realisiert und an Messungen von Asphären die Funktion erfolgreich nachgewiesen. Die Entwicklung und die Messergebnisse werden präsentiert und Möglichkeiten weiterer Applikationen aufgezeigt.