Streulichtmessung optischer Komponenten im infraroten Spektralbereich

Fraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik, Jena

matthias.hauptvogel@iof.fraunhofer.de

Abstract

Messung und Analyse von Streulicht an optischen Komponenten sind von enormer Bedeutung für die Entwicklung leistungsfähiger optischer Systeme. Streulicht stellt einerseits einen Verlustmechanismus dar und kann andererseits die Abbildungseigenschaften kritisch beeinträchtigen. Eine Reihe von Anwendungen, u.a. in der Astronomie, Medizin, Sicherheitstechnik und in Kommunikationssystemen, nutzt Wellenlängen im mittleren infraroten (IR) Spektralbereich. Dabei können sich die Streulichteigenschaften im IR-Bereich drastisch von denen im sichtbaren Bereich unterscheiden. Daher besteht ein dringender Bedarf an direkten Messungen bei den jeweiligen Anwendungswellenlängen. Es werden Ergebnisse von Streulichtuntersuchungen bei 4,6 µm an Oberflächen, Materialien und Beschichtungen vorgestellt und mit den Ergebnissen bei anderen Wellenlängen verglichen.

Keywords

Messtechnik Oberflächen Scatterometrie
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@inproceedings{dgao115-b18, title = {Streulichtmessung optischer Komponenten im infraroten Spektralbereich}, author = {M. Hauptvogel, S. Schröder, L. Mejnertsen, M. Trost, A. Duparré}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 115. Jahrestagung}, year = {2014}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Talk B18} }
115. Annual Conference of the DGaO · Karlsruhe · 2014