Streulichtbasierte Detektion von Subsurface Damage in geschliffenen und polierten Glasoberflächen

Bei der Herstellung optischer Präzisionsoberflächen mit abrasiven Verfahren entstehen durch plastische Materialverformung Mikrorisse im oberflächennahen Bereich, sogenannter Subsurface Damage (SSD). Dieser kann insbesondere für Anwendungen, die eine hohe Laserstabilität oder extreme Materialfestigkeit benötigen, einen limitierenden Faktor darstellen. Durch sukzessive feinere Schleif- und Polierschritte wird daher versucht, die SSD Schicht des vorhergegangen Prozessschrittes zu minimieren, was jedoch eine kontinuierliche Charakterisierung erfordert, um die einzelnen Prozesszeiten so gering wie möglich zu halten. Als Alternative zu klassischen zerstörenden Charakterisierungsverfahren, wie das Aufätzen der Risse mittels Flusssäure, bieten streulichtbasierte Messverfahren das Potential für eine berührungslose und sensitive Charakterisierung. Am Beispiel von winkelaufgelösten Streulichtmessungen im visuellen und extrem ultravioletten Spektralbereich wird gezeigt, wie sich SSD in geschliffenen und polierten Glasoberflächen zerstörungsfrei nachweisen lässt. Dabei werden die Streulichtresultate direkt mit Ergebnissen von zerstörenden Charakterisierungsverfahren verglichen.