Simulationsgestützte und experimentelle Analyse von systematischen Messfehlern bei der Formprüfung mittels Computer generierter Hologramme

Zur Erweiterung des Messbereichs sind bei Asphären als auch Freiformoptiken Computer-generierte Hologramme (CGHs) zur Durchführung des Nulltests erforderlich. Bei der Verwendung von CGHs ist die optimale Justage insb. bei starken Asphären sowie großen Abweichungen von der Soll-Form nicht immer klar definiert und geringe Abweichungen führen dabei zu systematischen Messfehlern. Bei der interferomterischen Formprüfung von Asphären mittels CGHs tritt daher häufig ein erhöhter Koma-Wert in der Praxis auf. Experimentell ist dies für eine automatische Messroutine als auch für einen erfahrenen Anwender schwer zu kompensieren, da die in der Praxis üblicherweise durchgeführte ungefähre globale Minimierung der Streifendichte bei komplexeren Interferenzmustern nicht immer eindeutig ist. Zur Charakterisierung werden Messfehler quantifiziert, indem systematisch der 5-dimensionale Parameterraum der Prüflings-Position bzw. Dejustage mittels Simulation als auch experimentell abgerastert und analysiert wird. Weiterhin wird ein Ansatz für eine Korrektur der gemessenen Topographie vorgestellt, der eine Minimierung des Restfehlers ermöglichen kann.