Vorrichtung und Verfahren zur Vermessung zumindest teilweise reflektierender Oberflächen

Wir stellen ein Verfahren zur optischen Formerfassung optischer Freiformoberflächen vor, mit dem auch Oberflächen großer Neigungen absolut vermessen und rekonstruiert werden können. Die Idee baut auf dem Prinzip der Rasterreflektometrie auf, bei dem von der zu untersuchenden zumindest teilweise spiegelnden Oberfläche ein Lichtmuster reflektiert wird und mit Hilfe einer dreidimensionalen Beobachtungseinheit im Raum zurückpropagiert wird. In diesem Beitrag wird das Verfahren und der verwendete Kalibrieralgorithmus vorgestellt. Die theoretischemögliche Auflösung wird diskutiert und an Beispielmessungen validiert. Die erreichbaren Ergebnisse werden mit anderem Messverfahren verglichen.