Solarisation optischer Gläser bei gepulster Laserstrahlung

Femtosekunden-Laser sind zunehmend ein Werkzeug in der Materialbearbeitung und Lithographie. In der Mikrolithographie ermöglichen Femtosekunden-Laser die Realisierung dreidimensionaler Strukturen ohne Masken im Photoresist oder bei der Materialbearbeitung. Diese Technologie wird im zunehmenden Markt der Backend Lithographie oder des Advanced Packaging immer wichtiger. Damit steigen auch die Anforderungen an das optische Material, welches sowohl für die Strahlführung, als auch für die Prüfung in der Fertigung eingesetzt wird. Die konzentrierte gepulste Strahlung des Femtosekunden-Lasers kann Solarisationseffekte in optischen Gläsern auslösen. In diesem Beitrag werden erstmals Ergebnisse aus Solarisationsmessungen mit einem Femtosekunden Laser im nahen UV vorgestellt. Die Messungen erfolgten am Laser Zentrum Hannover. Unter den getesteten Gläsern befinden sich sowohl die i-Linien Gläser als auch weitere höher brechende Gläser von SCHOTT.