Innovative Verfahren zur Metrologie von Freiform Oberflächen
- Fachgebiet Technische Optik, Technische Universität Ilmenau
mohamed [dot] bichra [at] tu-ilmenau [dot] de
Wir präsentieren ein neuartiges Verfahren zur Bestimmung der optischen Wellenfront und zur Formerfassung von glänzenden glatten Freiformoberflächen in Reflexion. Die Idee baut auf dem Prinzip der Wellenfrontvermessung mittels Fourier optischer Systeme auf. Alle benötigten optischen Elemente liegen auf einer optischen Achse, ohne die Notwendigkeit klassischer strahlteilender Bauelemente. Eine Abschattung zwischen der Beleuchtung und der Messeinheit wird durch den experimentellen Aufbau vermieden. Der Verzicht auf eine seitliche Beleuchtung bzw. Strahlteiler und die Nutzung einer partiell kohärenten Beleuchtung sind die Hauptmerkmale des Verfahrens. Neben der theoretischen Darstellung des Messprinzips werden erste experimentelle Ergebnisse mit dem erstellten Messaufbau präsentiert.
@inproceedings{bichra2017a24,
author = {Bichra, Mohamed and Meinecke, Thomas and Sinzinger, Stefan},
title = {{Innovative Verfahren zur Metrologie von Freiform Oberflächen}},
booktitle = {DGaO-Proceedings 2017},
series = {DGaO-Proceedings},
eventtitle = {118. Jahrestagung der DGaO},
eventdate = {2017-06-07/2017-07-08},
venue = {Dresden},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
year = {2017},
pages = {A24},
langid = {ngerman},
url = {https://dgao-proceedings.de/paper/118-a24}
}