Innovative Verfahren zur Metrologie von Freiform Oberflächen

Wir präsentieren ein neuartiges Verfahren zur Bestimmung der optischen Wellenfront und zur Formerfassung von glänzenden glatten Freiformoberflächen in Reflexion. Die Idee baut auf dem Prinzip der Wellenfrontvermessung mittels Fourier optischer Systeme auf. Alle benötigten optischen Elemente liegen auf einer optischen Achse, ohne die Notwendigkeit klassischer strahlteilender Bauelemente. Eine Abschattung zwischen der Beleuchtung und der Messeinheit wird durch den experimentellen Aufbau vermieden. Der Verzicht auf eine seitliche Beleuchtung bzw. Strahlteiler und die Nutzung einer partiell kohärenten Beleuchtung sind die Hauptmerkmale des Verfahrens. Neben der theoretischen Darstellung des Messprinzips werden erste experimentelle Ergebnisse mit dem erstellten Messaufbau präsentiert.