Streulichtanalyse hochqualitativer Optikkomponenten

Die Aufklärung und Beherrschung der Streulichteigenschaften ist für die Funktion optischer High-End Systeme von entscheidender Bedeutung. Besonders kritisch ist Streulicht an optischen Komponenten für die Astronomie und optische Lithografie, deren Palette sich von schwarz beschichteten Blendenelementen über Optiken mit Rauheiten im Angströmbereich bis hin zu Gittern erstreckt. Für die Qualitätssicherung und Störlichtanalyse bedeutet dies die Notwendigkeit winkelaufgelöster Streulichtmessungen (BRDF) bei den Anwendungswellenlängen. Hierfür wurden am Fraunhofer IOF Messsysteme entwickelt, die sich durch hohe Sensitivität, große Dynamik sowie geringe Nahwinkelgrenzen auszeichnen und Wellenlängen vom EUV bis zum IR abdecken. Die technischen Realisierungen reichen dabei von kompakten Sensoren über Table-Top Instrumente bis hin zu Laborsystemen mit durchstimmbaren Lichtquellen. Neben der Bestimmung von BRDF und Streuverlusten können über Modelle Aussagen zu Rauheit, Defekten oder Anisotropie gewonnen werden. Von zunehmendem Interesse sind überdies multifunktionale Oberflächen, bei denen bestimmte funktionale Eigenschaften wie Superhydrophobie mit niedrigem Streulicht gefordert sind.