Herstellung eines subwellenlängen-strukturierten Polarisationskonverters mittels Zwei-Photonen-Polymerisation und seine Charakterisierung

Polarisationskonverter wandeln Licht eines definierten Polarisationszustandes in einen anderen definierten Zustand um. Die Änderung des Polarisationszustandes basiert auf der Änderung der Ausbreitungskonstanten der beiden orthogonalen Ex- und Ey- Moden. Ein in [1] vorgestellter Ansatz sieht vor, den Polarisationszustand mit metallischen Hohlleitern geeigneter Geometrie zu beeinflussen. Hier beschreiben wir die Fertigung eines Hohlleiter-Arrays durch einen Zwei-Photonen-Polymerisationsprozess, gefolgt von einer galvanischen Goldabscheidung. Das Array besteht dabei aus 1000 x 1500 einzelnen metallischen Hohlleitern, jeweils mit einer lateralen Abmessung von 1000 nm x 640 nm bei einer Höhe von 2 μm für eine Betriebswellenlänge von 1064 nm. Dieser Beitrag behandelt die Auslegung, Herstellung und Charakterisierung eines Hohlleiter-Arrays. [1] S. F. Helfert, A. Edelmann, J. Jahns, J. Eur. Opt. Soc.-Rapid Comm. 10, 15006 (2015)