Streulichtreduzierung bei einem variablen Interferometer-Objektiv mit zwei diffraktiven Elementen

Die optische Passemesstechnik für Glasflächen neuartiger Oberflächengeometrien ist unabdingbar für die Herstellung von Präzisionsoptiken, wie sie zum Beispiel bei Spiegelreflexkameras oder in Lithographiesystemen zum Einsatz kommen. Basierend auf dem Ansatz von Alvarez und Lohmann haben wir bereits auf den DGaO-Jahreskonferenzen 2014 und 2016 ein Design und erste Messungen zu unserem flexiblen System für die Messung von Asphären und Freiformflächen vorgestellt. Bei diesem Aufbau werden über den lateralen Versatz zweier diffraktiver Elemente wahlweise Defokus und Astigmatismus in die Wellenfront eingebracht und diese somit für ein Nulltestverfahren an die Prüflingsgeometrie angepasst. Durch den zweifachen Durchgang beider diffraktiver Elemente stellt das Streulichtmanagement von nicht Nutz-Ordnungen die größte Herausforderung dar. Wir zeigen anhand unseres Re-Designs wie eine Streulichtreduzierung bei dieser interferometrischen Anwendung umgesetzt werden konnte.