Kurzkohärente Erweiterung von Fizeau-Interferometern mittels Vorschaltkavität

Phasenschiebende Fizeau-Interferometer sind robust und einfach zu Justieren und daher aus der heutigen Optikfertigung nicht wegzudenken. Üblicherweise wird dabei ein langkohärenter HeNe-Laser eingesetzt. Die große Kohärenzlänge dieser Lichtquellen bringt Vorteile bei der Positionierung des Prüflings mit sich, führt aber z.B. bei planparallelen Prüflingen auch zu Problemen der Interpretierbarkeit der Phasenbilder. Es treten Mehrfachinterferenzen von Vorder- und Rückseite auf, die nicht voneinander zu trennen sind. Eine Lösung zur Unterdrückung der Rückseitenreflexe ist die Verwendung einer kurzkohärenten Lichtquelle. Dann muss mittels einer Vorschaltkavität die optische Weglänge von Referenz und Prüfstrahl aufeinander abgestimmt werden. Es wird ein Lösungsansatz in Form einer externen fasergekoppelten Vorschaltkavität mit integriertem Phasenschieber vorgestellt, welche die interne Lichtquelle des Interferometers ohne weitere Änderungen am Interferometerkopf ersetzen kann.