Auswertung und Tolerierung irregulärer interferometrischer Prüfbereiche

Die Auswertung nichtrunder Prüfbereiche stellt ein Problem für die interferometrische Prüfung von Optik dar, weil die typischen Zerlegungen der gemessenen Wellenfront (z.B. Zernike) nur für kreisförmige Bereiche gültig sind. Andere Zerlegungen basieren auch noch auf regulären Geometrien wie Ellipsen oder Rechtecken. Für solche Bereiche gibt es aktuell keine allgemein akzeptierte Zerlegung. Trotzdem müssen solche Bereiche gelegentlich interferometrisch vermessen und ausgewertet werden. Sei es, weil die Optik einfach eine solche Form besitzt und auch in diesem Zustand geprüft werden muss oder weil der verwendete Bereich irregulär ist und kein größerer, regulärer Bereich geprüft werden kann. Wir präsentieren eine Methode, die es nicht nur ermöglicht, beliebige Prüfbereiche sinnvoll mit herkömmlichen Zerlegungen auswerten zu können, sondern auch ein Verfahren der Tolerierung, das Toleranzwerte nach weltweit akzeptierten Normen liefert. Idealerweise kann eine solche Auswertung direkt in der Interferometersoftware durchgeführt werden. Wir geben einen Überblick über einige kommerziell verfügbare Software für Interferometer, die für die Verwendung mit diesem Verfahren geeignet sind.