Vermessung konvexer, rauer Asphären mittels Interferometrie in streifender Inzidenz

Asphärische Linsen spielen für das Design hochwertiger Optiken eine wichtige Rolle. Bereits einige wenige asphärische Flächen können mehrere sphärische Linsen eines optischen Systems ersetzen, was zu einer Reduzierung in Gewicht und Größe des Systems führt. Einhergehend mit diesen Vorteilen ist die Qualitätsprüfung der Linsen unabdinglich. Zu den gewünschten Genauigkeiten führen dabei nur interferometrische Messtechniken. In diesem Beitrag werden die theoretischen Überlegungen, Simulationen und erste Ergebnisse zu einem Interferometer mit streifendem Einfall zum Test konvexer, rauer Asphären vorgestellt. Ein Vorteil dieses Verfahrens ist, dass durch den streifenden Einfall und damit einer höheren effektiven Wellenlänge das Vermessen von technisch rauen Oberflächen mit hoher numerischer Apertur in sichtbarem Licht möglich wird. Als Strahlteiler und -vereiniger werden diffraktive optische Elemente genutzt, die einen lokalen Nulltest ermöglichen. Dabei wird die einfallende Wellenfront an die ideale Oberfläche entlang des Meridians der Asphäre angepasst. Die reflektierte Welle enthält anschließend Information über die zu bestimmenden Oberflächenabweichungen.