Shearing-Interferometer mit unterschiedlich kohärenten Multilichtquellen zur optischen Formmessung optischer Oberflächen

Die hoch genaue optische Formerfassung von Asphären und Freiformflächen stellt eine große Herausforderung für aktuelle Messsysteme dar, da diese eine aufwendige Anpassung der Eingangswellenfront benötigen. Um hierfür eine flexible Beleuchtung zu erreichen, wird in einem gemeinsamen DFG-Projekt (Deutsche Forschungsgemeinschaft) zwischen der PTB und dem Bremer Institut für angewandte Strahltechnik GmbH (BIAS) die optische Formerfassung durch ein Shearing Verfahren mit einer Multiquellenbeleuchtung entwickelt. Jede Lichtquelle erzeugt dabei ein eigenes Interferogramm. Diese können durch eine spezifische Wahl der Shear-Abstände zu einem gemeinsamen Interferogramm überlagert werden. Als Beleuchtung werden eine kohärente Lichtquelle in Form eines He-Ne Lasers als auch eine teilkohärente Lichtquelle (LED) eingesetzt. Für die Untersuchung stehen zwei Messaufbauten mit verschiedenen Shearelementen (Trippleprisma und Spatial Light Modulator) zur Verfügung. Die Einflüsse auf das Messergebnis und die Messbarkeit komplexerer Oberflächentopografien durch die Wahl des Kohärenzgrades sowie die Wahl des Shearelementes werden untersucht.