Herstellung von planar integrierten Multimode-Wellenleitern in Glas für asymmetrische Verzweiger

Optische Kommunikation über Multimode-Wellenleiter findet vermehrt Einsatz im Bereich der Datacom-Netze. Besonderes Interesse gilt unter anderem Verzweigern mit asymmetrischer Leistungsaufteilung zum Monitoring des Datenverkehrs. Eine vielversprechende Technologie, diese Komponenten mit den dafür erforderlichen Eigenschaften herzustellen, ist der Natrium-Silber-Ionenaustausch in Glas. Gängige Methoden für Design und Herstellung von Singlemode-Verzweigern sind auf Multimode-Verzweiger mit hoher Asymmetrie nicht unmittelbar übertragbar. Die Herstellung von planar integrierten Multimode-Lichtwellenleitern durch die Kombination von Fotolithographie und feldunterstütztem Ionenaustausch wird näher beleuchtet. Hier wird insbesondere zwischen Nass- und Trockendiffusionsprozessen unterschieden. Erste experimentelle Ergebnisse werden zusammen mit der zugehörigen Messmethodik zur Bestimmung der Brechzahlprofile vorgestellt. Diese zeigen neben der Ausprägung der Brechzahlunterschiede auch die Interaktion zwischen eng angeordnete Wellenleiter beim Herstellungsprozess auf.