Ellipso-Höhentopometrie, EHT, Erweiterungen und Weiterentwicklungen

Die Ellipso-Höhentopometrie ist eine erweiterte optische Topometrie, bei der sowohl die Obe¬r-flächenerhebungen, H(x,y), als auch die lokalen ellipsometrischen Parameter Ψ(x,y) und Δ(x,y) von Oberflächen mit lokal veränderlichen Material- und Schichtzusammensetzungen in einem gemein-samen Messstrahlengang und auf demselben Pixelraster mit hoher Auflösung erfasst werden: die Dicke t(x,y) von Überschichtun¬gen, Oxidationen oder Ablagerungen oder Parameter von gezielt auf¬gebrachten Strukturen. Wir erklären zur Einleitung die Grundprinzipien, stellen neue und weiterführende Ansätze vor, präsentieren neue Messdatensätze und ihre Auswertungen und zeigen weitere Möglichkeiten des Verfahrens.