Asphären- und Freiformflächenmesstechnik: Herausforderungen im Spannungsfeld zwischen Flexibilität und Kalibrierung

Die Anforderungen an die Formtreue optischer Oberflächen werden definiert durch ihren Einsatzzweck und sind damit letztlich immer verknüpft mit der Wellenlänge des genutzten Lichts. Die daraus resultierenden engen Toleranzen können in aller Regel nur durch Rückkopplung der Fertigung mit adäquater Messtechnik erreicht werden. Dabei spielt neben der Messzeit, der Messgenauigkeit und –auflösung die Flexibilität in Bezug auf die vermessbaren Formen eine zunehmend wichtige Rolle. Durch die Entwicklung computergesteuerter Bearbeitungstechnologie gilt immer mehr: Was vermessen werden kann, kann auch gefertigt werden. Oder umgekehrt: Gerade bei komplexen Optiken mit geringer oder ohne Symmetrie (Freiformflächen) kann die Messtechnik einer der limitierenden Faktoren in der Optikproduktion sein. Mit der Flexibilität steigt die Komplexität der Kalibrierung und des Nachweises der Messgenauigkeit. In diesem Beitrag werden Entwicklungen bei Kalibrierstrategien in der interferometrischen Asphären- und Freiformflächenmesstechnik von der Nutzung von Symmetrien bis hin zu modellgestützten Kalibrieransätzen vorgestellt.