Analyse der Schichtspannungen von Röntgenspiegeln mit einem Weißlichtinterferometer

Die aktuelle Entwicklung zukünftiger satellitengestützter Röntgenteleskope auf Basis dünner Spiegelsubstrate stellt neuartige und anspruchsvolle Anforderungen an die Eigenschaften der benötigten Reflexionsschichten. Diese Schichten sollen breitbandig höchste Reflektivitäten im Photonenenergiebereich zwischen 1 keV und 10 keV aufweisen, die hohe Genauigkeit der präzise vorgeformten Spiegelsubstrate erhalten und zudem kostengünstig in einem serientauglichen Prozess aufgebracht werden. An der Hochschule Aschaffenburg werden in Zusammenarbeit mit nationalen und internationalen Partnern iridiumbasierte Sputterschichtsysteme für röntgenastronomische Anwendungen entwickelt. Hierbei spielt neben den optischen Eigenschaften die Minimierung der inhärenten Schichtspannungen eine entscheidende Rolle. Unter Nutzung eines gegen Schwingungen, Schall und Temperaturschwankungen isolierten Weißlichtinterferometers wurde ein geeignetes Messverfahren zur Vermessung der Schichtspannungen entwickelt. Der experimentelle Aufbau, das Messprinzip, die Gerätekalibrierung und erste vielversprechende Ergebnisse von spannungsarmen Röntgenreflexionsbeschichtungen werden vorgestellt.