Analyse von Schwingungsmoden mit Hilfe eines kompakten Laser Scanning Vibrometers

Zur kontaktlosen Charakterisierung von Schwingungen in mikromechanischen Systemen eignet sich die Laser-Scanning Vibrometrie. Das PicoScan Vibrometer von SmarAct erlaubt eine hochauflösende, zweidimensionale Schwingungsanalyse einer Probe mit anschließender Visualisierung ihrer unterschiedlichen Schwingungsmoden.   Ein typisches Anwendungsgebiet ist die Bestimmung der Resonanzeigenschaften von Biegebalken (Cantilever) aus Siliziumnitrit, die als Messspitzen bei Rasterkraftmikroskopen (atomic force microscopy - AFM) oder als sog. Energy Havester, also kleine Strukturen die Vibrationen in elektrische Energie umwandeln, eingesetzt werden.  (In diesem Vortrag/Auf diesem Poster) zeigen wir die Vermessung von rechteckigen und dreieckigen Mikro-Biegebalken. Darüber hinaus wird der Einfluss von zusätzlichen Massen an den Balken (z.B. Messspitzen) sowie das Frequenzverhalten des Probenhalters untersucht.   Das kompakte PicoScan Vibrometer von SmarAct erlaubt die effiziente Untersuchung des Frequenzverhaltens sehr kleiner Proben und vermag somit zu deren Weiterentwicklung beizutragen.