Hochgenaue und rückgeführte Charakterisierung von Wellenfrontsensoren

Die hochgenaue Bestimmung von optischen Wellenfronten ist bei vielen optischen Anwendungen von großer Bedeutung. Im Rahmen eines Transfer-Projektes zwischen PTB und Optocraft GmbH wird eine rückführbare Kalibrierung von Wellenfrontsensoren (WS) basierend auf dem Traceble Multisensor (TMS) Verfahren entwickelt. Dieses Verfahren wurde an der PTB ursprünglich zur interferometrischen Flächenmessung entwickelt und eingeführt. Mit diesem TMS-Verfahren kann sowohl der systematische Sensorfehler als auch die Eingangswellenfront simultan ermittelt werden. Die Rückführung auf die SI-Einheit „Meter“ ist durch einen Referenzspiegel mit bekannter Topographie und einem Autokollimationsfernrohr gegeben. Wir stellen das Messprinzip und die Rückführungskette dar. Wir zeigen Messergebnisse zur Kalibrierung von verschiedenen Sensoren und diskutieren verschiedene Einflussfaktoren, insbesondere die Verwendung unterschiedlicher Beleuchtungen. Die Ergebnisse wurden durch eine unabhängige Messung der Eingangswellenfront, sowie der gezielten Veränderung des systematischen Sensorfehlers verifiziert.