In-Line Verfahren zur Charakterisierung von Freiform Oberflächen

Hochwertige Präzisionsfertigung erfordert eine leistungsstarke Echtzeitkontrolle. Eine zentrale Herausforderung für eine kompakte Realisierung ist die Notwendigkeit der Strahlteilung. Dies ist für eine effiziente Trennung der Beleuchtungswelle und der an dem Messobjekt reflektierten Wellenfront unumgänglich. Hierbei werden üblicherweise dielektrische Strahlteiler verwendet, die neben erheblichen Kosten die Integrierbarkeit des Messaufbaus beeinträchtigen. In diesem Beitrag stellen wir einen flexiblen und kompakten Messaufbau vor, der einfach in Produktionsmaschinen integriert werden kann und eine gleichzeitige Charakterisierung von Messobjekten in Transmission und in Reflexion ermöglicht. Die Grundidee besteht darin, ein herkömmliches Talbot-Interferometer zu erweitern, in dem eine räumliche Filterung in einer entsprechenden Fourier-Ebene hinzugefügt wird, um die nachfolgende Signalverarbeitung (u.a. Fourier-Analyse) vorzubereiten. Wir führen ein bidirektional verwendetes nanostrukturiertes Beugungsgitter ein. Das Messverfahren wurde an Beispielmessungen in Reflexion und Transmission validiert und mit anderem etablierten Messverfahren verglichen.