Konzept zur interferometrischen Formmessung mit einer nachgeführten Mehrzeilenkamera

Ein gemeinsames DFG-Vorhaben zwischen der Universität Kassel und der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) befasst sich mit der genauen Formerfassung von Präzisionsbauteilen basierend auf einem linienförmigen, interferometrischen Multiabstandssensor, der der Kontur des Messobjektes dynamisch nachgeführt wird. Das bestehende linienbasierte Formmesssystem soll nun um eine Mehrzeilenkamera erweitert werden, die lateral versetzte, zeitgleiche Messungen ermöglicht. Daraus ergeben sich neue Auswertemöglichkeiten und Messstrategien, die untersucht werden sollen. Es können z. B. Oberflächengradienten in Scanrichtung detektiert oder Auswerteverfahren auf Basis von Shearing-Algorithmen eingesetzt werden. Zudem soll der Taumelfehler des Drehtisches erfasst werden, um den Einfluss auf die Topografiemesswerte zu eliminieren. Weiterhin ist vorgesehen, das Messsystem auf Prüflingsdurchmesser bis 200 mm zu erweitern. Damit sollen ideale Voraussetzungen für die mögliche spätere Überführung des Messsystems in die industrielle Anwendung geschaffen werden. Wir stellen das metrologische Konzept des erweiterten Systems mit einer schnellen Mehrzeilenkamera vor.