Hybridmethode zur Oberflächenrekonstruktion von optischen Asphären und Freiformen: Maschinelles Lernen basierend auf dem Tilted-Wave Interferometer

Das Tilted-Wave Interferometer (TWI) ist ein optisches Verfahren zur hochgenauen Oberflächenvermessung von Asphären und Freiformflächen. Die Rekonstruktion der zugrundeliegenden Topographie ist ein komplexes und hochdimensionales inverses Problem. Für die Auswertung wird neben den realen Messungen des Prüflings durch das TWI auch eine virtuelle Messung der Designtopographie benötigt. In der Realisierung der PTB wird dazu die hier entwickelte Simulationsumgebung SimOptDevice genutzt. Die Differenz der Prüflingsoberfläche zum Design wird über ein iteratives Optimierungsverfahren anhand der Differenzen der optischen Pfadlängendifferenzen zwischen Prüfling und Design bestimmt. Es soll nun geprüft werden, inwiefern die derzeitigen Optimierungsverfahren durch den Einsatz von Methoden des maschinellen Lernens optimiert werden können. In diesem Beitrag werden die ersten Ansätze sowie erste Ergebnisse vorgestellt.