Flüssigkristall-basiertes ND-Filter zur automatischen Kontrasteinstellung interferometrischer Rauheitsmessungen an inhomogenen Oberflächen
Institut für Mess- und Regelungstechnik - Leibniz Universität Hannover
nils.melchert@imr.uni-hannover.de
Abstract
N. Melchert, M. Kästner, E. Reithmeier Institut für Mess- und Regelungstechnik - Leibniz Universität Hannover nils.melchert@imr.uni-hannover.de
Keywords
Interferometrie
3D-Messtechnik
Optische Komponenten
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@inproceedings{dgao121-a6,
title = {Flüssigkristall-basiertes ND-Filter zur automatischen Kontrasteinstellung interferometrischer Rauheitsmessungen an inhomogenen Oberflächen},
author = {N. Melchert, M. Kästner, E. Reithmeier},
booktitle = {DGaO-Proceedings, 121. Jahrestagung},
year = {2020},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
issn = {1614-8436},
note = {Talk A6}
}
121. Annual Conference of the DGaO · Bremen · 2020