DLP basierte Graustufenstrukturierung auf Mikrometerbasis in der Additiven Fertigung

Die additive Fertigung findet mittlerweile in der Realisierung von optischen Komponenten immer mehr Anwendung. Die Fertigung optisch aktiver Volumenkörper ist aufgrund des schichtweisen Aufbaus und der Streuung von Licht an den einzelnen Lagen noch eine große Herausforderung. Die Streueffekte können umgangen werden, indem einzelne Schichten in einem DLP-Graustufen-Belichtungsverfahren erzeugt werden. So fertigen wir kontinuierliche Topologien im Mikrometerbereich, die für den Einsatz als diffraktive optische Elemente im sichtbaren Spektrum geeignet sind. In diesem Beitrag stellen wir zunächst die notwendige digitale Korrektur der Projektorbelichtung vor. Hierbei gehen wir auf unsere Messverfahren, Korrekturalgorithmus und die dadurch erzielten höher aufgelösten Strukturen ein. Des Weiteren charakterisieren wir den Aushärteprozess anhand von 3D-Messungen und Brechungsindexanalysen hinsichtlich unserer Materialien und Belichtungsparameter. Abschließend präsentieren wir weitere mögliche Anwendungen, wie beispielsweise das Doppelbelichtungsverfahren aus der Lithografie um Subpixel-Strukturen zu erzeugen.