Neues berührungsloses Zentriermess- und Formmessverfahren für Asphären - poliert und geschliffen

Mit dem neuen ‘Vignettierenden Feldblenden-Verfahren‘ nach Dr. Hofbauer ist es möglich, auch in der Zone und am Rand einer Asphäre gleichzeitig die Flächenneigungswinkel (Slopes) in sagittaler und meridionaler Richtung berührungslos direkt präzise zu messen. Damit lässt sich der Zentrierfehler direkt und die Oberflächenformabweichung indirekt über Integration berechnen und rekonstruieren. Wir zeigen in dem Vortrag das Messprinzip und ein Proof of Concept für die innere und äussere Zentriermessung und die Oberflächenform-Rekonstruktion an Asphären. Ausserdem diskutieren wir die Aufllösungsgrenzen der Formabweichung an rotationssymetrischen Asphären sowie die laterale Auflösungsgrenze, um auch mittenfrequente Fehler zu analysieren. Als Ausblick schauen wir noch auf die Möglichkeit der Anwendbarkeit des Verfahrens an geschliffenen Probenoberflächen.