Computational Optical Metrology für neue Ansätze in der Formmessung (Hauptvortrag)

Herausforderungen für die optische Messtechnik liegen in der Kombination hoher Messgeschwindigkeit, geringer Messunsicherheit, Toleranz gegenüber schwierigen Messbedingungen und geometrischer Komplexität des Messobjekts z.B. bei Freiformflächen oder schwieriger Messgeometrie wie z.B. bei der Messung in tiefen Bohrungen. Zur Realisierung leistungsfähiger optischer Messsysteme sind daher mehrere Aspekte zu beachten: i) Die Anpassung der Objektbeleuchtung in Bezug auf die Anzahl der Lichtquellen und Detektoren sowie Richtung, Strukturierung und Kohärenzeigenschaften des Lichtes. ii) Die Bestimmung des Messergebnisses durch Kombination von Messsignalen, Vorwissen und effizienter, rechnergestützter Verarbeitung. Die Nutzung softwareintensiver Rekonstruktionsstrategien ist daher ein integraler Bestandteil des Messprozesses. iii) Schließlich streben wir einen Paradigmenwechsel an, der auf die konsequente Überwindung der Trennung zwischen Objekt und Messsystem mit allen seinen Komponenten zugunsten einer ganzheitlichen Beschreibung aller am Messprozess beteiligten Komponenten zielt und eine Auswahl und Optimierung von Messsystemen und Messparametern durch maschinelles Lernen ermöglicht.