Die Strukturfunktion als neue Analysemethode in der optischen Oberflächenmesstechnik

Zur Charakterisierung von Oberflächen werden üblicherweise Kenngrößen wie die Rauheitszahlen Ra oder Sa benutzt. Diese beschreiben aber vielfach nicht die für die gewünschten Anwendungen erforderlichen Eigenschaften. Mit der Strukturfunktion (SF) führen wir eine für die Oberflächenmesstechnik neue Analysemethode ein. Die Aussagekraft bezüglich der Beschaffenheit einer Oberfläche ist ungleich größer als die der genannten Kenngrößen, da alle Höhenunterschiede für jeweils alle möglichen Abstände innerhalb des Datensatzes in allen Richtungen ausgewertet werden können. Dabei kann die Strukturfunktion große Datenvolumina, die typischerweise bei optischen Messtechniken anfallen, effizient verarbeiten. Die SF hat zudem diverse Vorteile gegenüber anderen statistischen Verfahren, wie z.B. der Autokorrelationsfunktion. Sie lässt sich intuitiv besser beurteilen und ist im Vergleich zu Fourier-basierten Verfahren wesentlich robuster gegenüber Variationen der Oberflächengeometrie. Sie lässt sich auf fast jede Apertur oder Geometrie der Oberfläche anwenden und erlaubt zudem den Vergleich von Daten unterschiedlicher Messverfahren. Im Beitrag geben wir eine Einführung und zeigen erste Ergebnisse.