Optimierte Plasmaätzverfahren für die Fabrikation von Whispering Gallery Mode Resonatoren mit sehr hohen Güten

Das Feld der optischen Mikrokavitäten bietet eine vielversprechende Plattform zur Untersuchung resonanter Effekte. Dabei wird Licht in diesen Strukturen durch das Auftreten von Totalreflektion am äußersten Rand der Kavität eingeschlossen. Interessante Möglichkeiten bieten asymmetrisch verformte Kavitäten. Diese werden gezielt deformiert um ein gerichtetes Fernfeld zu erzeugen. Trotz des gezielten Auskoppelns von Licht in die Umgebung weisen diese Kavitäten sehr hohe Gütefaktoren auf. Um optische Mikrokavitäten für diverse Anwendungen nutzen zu können, ist es essentiell einen effizienten Fertigungsprozess zu entwickeln. Plasmaätzprozesse bilden dabei eine exzellente Basis, da durch die Vielzahl der Prozessparameter eine genaue Kontrolle der Morphologie des Resonators möglich ist. Ein Kernparameter für die Erzeugung von Resonatoren mit sehr hohen Güten sind die Oberflächenrauheiten der Kavität. Wir stellen einen Prozess zur Herstellung von deformierten Mikrokavitäten mit sehr hohen Gütefaktoren vor, welche experimentell bestimmt und mit den theoretisch erreichbaren Werten zur Bewertung der Prozesse verglichen werden.