Effizienzachromatisierung diffraktiver optischer Elemente über mehrlagige Strukturen aus Fused Silica und PDMS

Die starke Verringerung der Beugungseffizienz bei einer Abweichung von der Designwellenlänge erschwert die Nutzung diffraktiver optischer Elemente (DOEs) in polychromatischen Anwendungen. Diverse Autoren haben bereits die Möglichkeit der Reduzierung dieses Effekts durch mehrlagige DOEs aus geeigneten Materialkombinationen gezeigt. In einer vorangegangenen Arbeit haben wir die Kombination aus Fused Silica und PDMS für ein derartiges Element vorgeschlagen. Eine Herausforderung stellt dabei die fotolithografische Realisierung der großen Aspektverhältnisse bei gleichzeitig hoher Auflösung dar. Wir präsentieren theoretische Untersuchungen zur Umsetzung von Prototypen, sowie erste experimentelle Ergebnisse.