Sensordesign für die NPMM-200 am Beispiel eines Weisslichtsensors

Der Einsatz von Freiformflächen ermöglicht dem Optikdesigner die Realisierung neuer Konzepte. Für deren Herstellung sind prozessbegleitende Topographie-Messsysteme notwendig. Die hierfür notwendige Messtechnik ist insbesondere für Flächen mit Passetoleranzen im Nanometerbereich noch immer eine Herausforderung. Ein Ansatz hierzu ist die Interferometrie. Zur Steigerung der Flexibilität werden zunehmend zeitsequentiell messende Systeme (scannend oder abschnittsweise messend) implementiert. Dabei ist naturgemäß die Stabilität des Systems begrenzend. In diesem Beitrag wird ein Freiformflächen-Messsystem auf Basis der NPMM200 (Nanopositionier und Nanomessmaschine) vorgestellt. Das Sensorprinzip ist die Weisslichtinterferometrie, mit dem in Kombination mit der geringen Positionierunsicherheit der NPMM200 auch große Prüflinge bis 200x200 mm^2 mit hoher Ortsauflösung vermessen werden können. Dabei wird auf die speziellen Anforderungen beim Design und der Implementierung des Weisslichtsensors (Temperaturstabilität, Auswertealgorithmik) eingegangen. Erste Messergebnisse werden vorgestellt.