Einfluss der Rotation der Gitter auf den Lau-Effekt

Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Fachgebiet Technische Optik

xinrui.cao@tu-ilmenau.de

Abstract

In diesem Betrag wird mit Simulationen und Experimenten untersucht, wie die relative Rotation der Gitter um die optische Achse die Intensitätsverteilung um die Beobachtungsebene herum beeinflusst. Im herkömmlichen Versuchsaufbau des Lau-Effekts entstehen durch räumlich inkohärente Beleuchtung zweier hintereinander angeordneter Beugungsgitter eindimensionale Lau-Streifen in der bildseitigen Brennweite der Fourierlinse bzw. in der Beobachtungsebene. Die Intensitätsverteilung der Lau-Streifen entspricht der Kreuzkorrelation zwischen dem Amplitudenquadrat des ersten Gitters und dem Amplitudenquadrat der Fresnel-Propagation des zweiten Gitters, wobei die Gitterstrukturen der beiden Rechteckamplitudengitter parallel zueinander angeordnet sind. In diesem Beitrag wird diskutiert, wie eine relative Drehung der Gitter diese zweidimensionale Intensitätsverteilung beeinflusst. Erste Experimente zeigen, dass die resultierende Intensitätsverteilung in der optischen Lithographie eingesetzt werden kann.

Keywords

Optische Systeme Diffraktive Optik Gitter
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@inproceedings{dgao121-p4, title = {Einfluss der Rotation der Gitter auf den Lau-Effekt}, author = {X. Cao, P. Feßer, S. Sinzinger}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 121. Jahrestagung}, year = {2020}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Poster P4} }
121. Annual Conference of the DGaO · Bremen · 2020