Interferometrie in streifender Inzidenz an Asphären: Simulationen und Messergebnisse
Institut für Optik, Information und Photonik, Friedrich-Alexander Universität Erlangen-Nürnberg
2 Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts, Erlangen
Abstract
Die interferometrische Vermessung technisch rauer Asphären in streifender Inzidenz stellt eine neue Möglichkeit dar, unpolierte Linsen auf ihre Formabweichungen zu prüfen. Neben den experimentellen Untersuchungen können geeignete Simulationsalgorithmen mittels Raytracing die Analyse und Auswertung der Messdaten auf unterschiedliche Arten erleichtern bzw. vervoll-ständigen. Schon auf der letztjährigen DGaO-Jahrestagung wurden ähnliche Simulationsergebnisse für sphärische Messobjekte in einem Beitrag (2019, P9) präsentiert. In diesem Beitrag werden die Simulationsergebnisse für Asphären mit dazugehörigen Diskussionen der Phasenverläufe und der Eliminierung der Dejustagen vorgestellt.
Keywords
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