Entwicklung eines Müller-Matrix-Mikroskops für Messungen an Einzelstrukturen

Müller-Matrix-Ellipsometrie ist eine optische, integrale Messmethode, die die Polarisationsänderung von Licht bei der Reflexion bzw. Transmission an der zu untersuchenden Struktur nutzt, um ihre optischen Eigenschaften zu charakterisieren. Durch Kombination eines solchen Ellipsometers mit einem Mikroskop entsteht ein abbildendes Ellipsometer (IMME) bzw. ein Müller-Matrix-Mikroskop (MMM), mit dem die Müller-Matrix pixelweise gemessen werden kann. Auf diese Weise können ortsaufgelöste Informationen der Strukturen erhalten werden, die bei der herkömmlichen Ellipsometrie aufgrund der Integration nicht vorhanden sind. Wir haben einen Aufbau realisiert, mit dem IMME-Messungen in Transmission und Reflexion bei Einfallswinkeln zwischen 37,5° und 90° durchgeführt werden können. Zusätzlich gibt es für Auflicht-MMM-Messungen einen Modus bei einem Einfallswinkel von 0°. Mit diesem Aufbau soll die Form verschiedener Nanostrukturen charakterisiert werden, deren Abmaße kleiner als die verwendete Beleuchtungspunktgröße sind. Die Ergebnisse dieser Messungen, die hauptsächlich auf der Analyse der Nebendiagonal-Elemente der Müller-Matrix basieren, sowie der entwickelte Aufbau werden hier vorgestellt.