Integriertes Messkonzept zur Registrierung von Weißlichtinterferometriesignalen für Nanometrologie in großen Messvolumina

Moderne optische Flächen sind durch Flächeneigenschaften im Nanometerbereich über eine großflächige Apertur spezifiziert. Bei der Herstellung solcher Flächen ist die dafür notwenige Messtechnik noch immer eine Herausforderung. Gerade bei nicht flächig messenden Systemen ist die Stabilität des Messgeräts eine der limitierenden Eigenschaften. Übliche Messsysteme für lateral ausgedehnte Oberflächen haben meistens entkoppelte Achsen für die Positionierung des Prüflings und zur Aufnahme der Messdaten. Diese Aufspaltung erzeugt weitere Unsicherheiten. Das Besondere bei unserer Messtechnik ist hierbei, dass jede Bewegung des Prüflings direkt zum metrologischen Rahmen referenziert wird. Dadurch ist zu jedem Zeitpunkt der Messung die räumliche und zeitliche Korrelation zum Weltkoordinatensystem vorhanden. In diesem Beitrag werden die metrologischen Vorteile dieses Ansatzes bei der Vermessung großer Objekte diskutiert. Wir präsentieren experimentelle Ergebnisse aus der Vermessung von Freiformoptiken auf Basis eines Weißlichtinterferometermesskopfes auf der NPMM200 (Nanopositionier und Nanomessmaschine).