Charakterisierung und erste Anwendungen eines MEMS-basierten adaptiven Zylinderspiegels

MEMS-basierte adaptive Spiegel sind ein fester Bestandteil im Bereich der adaptiven optischen Komponenten. In diesem Beitrag stellen wir eine weitere Komponente dieser Familie vor, einen adaptiven zylindrischen Silizium-Membranspiegel. Der zylindrisch verformbare Membranspiegel besitzt eine rechteckige Apertur von 8 x 2 mm2 bei einer frei einstellbaren Brechkraftvariation von 0.3 bis 0.61 dpt in der langen Spiegelachse. Zur Demonstration der optischen Eigenschaften und Einsatzmöglichkeiten des Spiegels wird dieser in ersten Anwendungen zur adaptiven Fokussierung von Diodenlasern und zur adaptiven Winkelvariation eines Linienlasersystems eingesetzt. Die dabei erzielten Ergebnisse werden durch Systemsimulationen mit Hilfe der Gaussian Beam Propagation Methode bestätigt.