Variable, ringförmige Belichtung zur lithografischen Herstellung rotationssymmetrischer mikrooptischer Elemente - Konzeption und Funktionsnachweis
- 1Department SciTec, Ernst Abbe University of Applied Sciences Jena
- 2Institute of Nanostructure Technologies and Analytics, University of Kassel
- 3Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF, Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF
Maria [dot] Knoblich [at] eah-jena [dot] de
Die klassische und derzeit etablierte Herstellung mikrooptischer Strukturen erfolgt häufig über direktschreibende Verfahren wie die Laser- oder Elektronenstrahllithografie. Hierbei wird das mit einem Fotolack beschichtete Substrat punktförmig in kartesischen Koordinaten abgerastert und belichtet. Es wird nun ein Lösungsansatz für ein Fertigungsverfahren vorgestellt, das eine schnelle und flexible Herstellung insbesondere von rotationssymmetrischen mikrooptischen Strukturen ermöglicht. Hierzu werden ringförmige Lichtverteilungen mit variablem Durchmesser erzeugt und für die Belichtung des Fotolacks genutzt. Um eine größtmögliche Flexibilität hinsichtlich des herstellbaren Oberflächenprofils zu erzielen, kommt vorwiegend Grauton-Lithografie zum Einsatz. Das grundlegende Optikdesign- Konzept zur Formung des ringförmigen Strahlprofils basiert auf einer Kombination aus zwei Axikons mit variablem Abstand. Mit Hilfe eines Labordemonstrators konnte der prinzipielle Funktionsnachweis dieses Optikdesign- Konzepts erbracht sowie Belichtungsexperimente durchgeführt werden. Sowohl das Konzept als auch ausgewählte Belichtungsergebnisse werden vorgestellt und diskutiert.
@inproceedings{knoblich2021b30,
author = {Knoblich, Maria and Kraus, Matthias and Förster, Erik and Dobschal, Hans-Jürgen and Stumpf, Daniela and Werner, Lukas and Uwurukundo, Xavier and Hillmer, Hartmut and Brunner, Robert},
title = {{Variable, ringförmige Belichtung zur lithografischen Herstellung rotationssymmetrischer mikrooptischer Elemente - Konzeption und Funktionsnachweis}},
booktitle = {DGaO-Proceedings 2021},
series = {DGaO-Proceedings},
eventtitle = {122. Jahrestagung der DGaO},
eventdate = {2021-09-21/2021-09-23},
venue = {Bremen},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
year = {2021},
pages = {B30},
langid = {ngerman},
url = {https://dgao-proceedings.de/paper/122-b30}
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