7-D Metrologie: Die Kohärenzfunktion zur Lösung komplexer Probleme der optischen Messtechnik
BiAS - Bremer Institut für angewandte Strahltechnik GmbH, Klagenfurter Str. 5, 28359 Bremen, Germany; 2 Universität Bremen, Fachbereich Physik und Elektrotechnik, Otto-Hahn-Allee NW1, 28359 Bremen, Germany; 3 MAPEX Center for Materials and Processes, 28359 Bremen, Germany
Abstract
Optische Verfahren sind in vielen Bereichen der Messung und Charakterisierung technischer Objekte etabliert. Bei interferometrischen Messmethoden wird dabei üblicherweise die Phase oder komplexwertige Amplitude eines quasi-monochromatischen Wellenfeldes bestimmt. Die Verwendung polychromatischer oder mehrerer unabhängiger Lichtquellen wäre aber gerade in komplexen Messsituationen oft hilfreich. In dieser Messsituation kann man allerdings der detektierten optischen Strahlung kein Wellenfeld mehr zuordnen. Im Gegensatz hierzu kann aber in vielen Fällen die Kohärenzfunktion des Lichtes ausgewertet werden. Die Herausforderung bei der Nutzung der Kohärenzfunktion, die i. Allg. einen 7-dimensionalen Raum auf eine komplexwertige Funktion abbildet, liegt in der Erforschung und Entwicklung von Verfahren und Techniken zur Informationsextraktion aus einem hochdimensionalen Raum und deren Nutzung z.B. für die Gestaltmessung. Der Vortrag beschreibt Methoden der Anwendung der Kohärenzfunktion und der damit einhergehenden Verwendung von teilkohärentem Licht (mit unterschiedlichen Wellenlängen und Richtungen) für eine präzise, robuste und schnelle Gestaltmessung komplexer technischer Oberflächen.