Aufbau zur Charakterisierung der temperaturabhängigen Fokusverschiebung von Mikroskopobjektiven

Mikroskopobjektive sind eine notwendige Komponente sehr vieler Präzisionsmesssysteme, mit der in aller Regel der Antastpunkt des Messsystems definiert wird. Damit spielt die Stabilität des Objektivs gegenüber Umwelteinflüssen wie einer variablen Umgebungstemperatur eine entscheidende Rolle, insbesondere bei längeren Messzeiten. Wenn Messunsicherheiten im Bereich unter 100 nm gefordert sind, können je nach Konstruktion des Objektivs bereits geringe Temperaturänderungen einen relevanten Beitrag zur Messunsicherheit verursachen. Leider ist den Datenblättern der Mikroskopobjektive in aller Regel nicht zu entnehmen, welche Temperaturabhängigkeit die Lage des Fokuspunktes zeigt. In diesem Beitrag präsentieren wir einen interferometriebasierten Ansatz zur Vermessung der Variation des Brennpunktes relativ zur Anlagefläche in Abhängigkeit von der Temperatur. Der Beitrag geht auf verbleibende Fehlereinflüsse ein und zeigt erste Messergebnisse.