Möglichkeiten und Grenzen der Multiple Aperture Shear-Interferometry (MArS)

Die Multiple Aperture Shear-Interferometry (MArS) ist ein neuartiges interferometrisches Verfahren zur Vermessung von Asphären und Freiformflächen. MArS beruht auf einer scher-interferometrischen Messung der Kohärenzfunktion, welche die gleichzeitige Erfassung unabhängiger, teilkohärenter Wellenfelder zulässt. Dies ermöglicht die Nutzung teilkohärenter LEDs mit sich überschneidenden Beleuchtungsaperturen, was eine flexible Anpassung der Beleuchtungsgeometrie an den Prüfling erlaubt. Es wird die Messgenauigkeit von MArS, sowie die gleichzeitige Messung von Vorder- und Rückseitenreflexen von Glasoptiken untersucht. Zudem wird ein neuer Ansatz zur scher-interferometrischen Messung unabhängiger Wellenfelder entwickelt. Die in der Signalverarbeitung weit verbreitete Kovarianzmatrix des Wellenfeldes wird direkt gemessen und aus dieser per Multiple Signal Classification (MUSIC) das Wellenfeld rekonstruiert. Neben diesen Ergebnissen werden aktuelle Entwicklungen in der vollflächigen Vermessung von Asphären mittels MArS gezeigt.