Single-Shot Interferometrie fernab der Nulltest-Messung

Institut für technische Optik, Universität Stuttgart

kevin.treptow@ito.uni-stuttgart.de

Abstract

Die Standardinterferometrie mit zeitlichem Phasenschiebeverfahren auf Basis von Piezoelementen kann nicht in turbulenten Messumgebungen verwendet werden. Bodenvibrationen und Luftturbulenzen führen während der Messung zu erhöhten Messunsicherheiten. Abhilfe schafft die Single-shot Interferometrie. Unter Ausnutzung der Lichtpolarisation und unter Verwendung einer polarisationssensitiven Kamera können alle phasengeschobenen Interferogramme instantan gemessen werden. Dadurch werden die Störungen aus der Messumgebung unterdrückt. Dies funktioniert ideal für Messungen mit wenigen Interferenzstreifen, wie wir am Beispiel der Vermessung eines Teleskopspiegels mit R=16m und Ø=50cm in einer stark gestörten Messumgebung demonstrieren. Wenn starke Abweichungen mit hohen Interferenzstreifendichten vermessen werden sollen, werden allerdings durch das räumliche Phasenschieben Messfehler generiert. Wir stellen einen modellbasierten Ansatz vor, der durch Interpolation der Interferogramme mit verschiedenen Algorithmen die Bestimmung der Phase deutlich verbessert. Anhand von Simulationen und Messungen wird die erreichbare Reduktion des Messfehlers vorgestellt.

Keywords

Messtechnik Interferometrie Oberflächen
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@inproceedings{dgao123-a29, title = {Single-Shot Interferometrie fernab der Nulltest-Messung}, author = {K. Treptow, C. Schober, C. Pruss, S. Reichelt}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 123. Jahrestagung}, year = {2022}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Vortrag A29} }
123. Jahrestagung der DGaO · Pforzheim · 2022